細分真空設(shè)備發(fā)展有了很大的發(fā)展和長足的進步

目前"真空科學與技術(shù)"包括了諸多的學科分支，真空科學與技術(shù)的分支學科分支學科分支學科的內(nèi)容經(jīng)典真空技術(shù)真空獲得，測量，檢漏，真空系統(tǒng)及元件。電子材料和加工工藝真空電子器件，半導(dǎo)體材料，光電材料，敏感材料，薄膜電子材料，薄膜材料，智能材料，沉積加工工藝，外延生長技術(shù)，掩膜和刻蝕等。表面科學固體表面電子結(jié)構(gòu)，原子結(jié)構(gòu)的研究，超高真空掃描隧道顯微鏡，表面性能測試。

真空冶金真空熔煉鑄造，真空脫氣鑄造，真空熱處理，真空焊接，真空還原蒸留炭化，單晶體制備，表面處理。等離子體科學與技術(shù)等離子體在磁控濺射，離子鍍等設(shè)備的應(yīng)用。等離子體化學氣相沉積，高純度單晶薄膜制備，等離子體顯示器件。薄膜科學與技術(shù)真空蒸發(fā)鍍，真空濺射鍍，真空離子鍍，化學氣相沉積。應(yīng)用表面科學紫外光電子能譜分析離子中和譜、X光電子能譜等表面分析儀器。納米科學與技術(shù)納米材料的制備，納米生物學，納米機械與納米動力學，納米電子學，納米醫(yī)療。

其實早在公元前六世紀我國在冶鐵技術(shù)中即采用了"風箱鼓風法"，這是利用真空進行吸氣原理有記載的描述。通常在回顧真空科學發(fā)展史時，常常誤認為1643年托里析利的壓力實驗和1650年葛利克發(fā)明抽氣機是對真空這一現(xiàn)象的98%早發(fā)現(xiàn)。

公元218~316年我國晉朝醫(yī)生葛洪又創(chuàng)造了"拔火罐"醫(yī)療法。這是真空技術(shù)在醫(yī)學上應(yīng)用的具體例證。可見葛利克抽氣機的發(fā)明與我國的風箱鼓風抽氣相比較，在時間上至少要晚幾百年。除了作為獲得，檢測，真空系統(tǒng)及其元件等產(chǎn)品的自身發(fā)展借以配合許多科學創(chuàng)新的條件和手段外，由于現(xiàn)代科學技術(shù)的相互交叉與滲透，因此又極大的豐富了真空科學與技術(shù)的內(nèi)涵。

尤其是"超高真空"，"超清潔表面"的出現(xiàn)，揭示了自然界中許多新穎的現(xiàn)象和規(guī)律，其中納米技術(shù)的發(fā)展就是很好的例證。這時由于電子器件，原子能，航天技術(shù)對真空環(huán)境的需求，極為迫切，從而大大的推動了這一技術(shù)的發(fā)展。因此在我們回顧真空科學發(fā)展的歷程時，是不應(yīng)忘記我們的祖先，對人類在早期發(fā)展真空技術(shù)中所做出的貢獻。但是，真空科學與技術(shù)作為獨立的科學體系還是從20世紀初開始的。

中國機械行業(yè)自改革開放的30多年來有了很大的發(fā)展和長足的進步，這不僅反映在產(chǎn)值、產(chǎn)量上的大幅度增長，而且在品種、規(guī)格還是在綜合技術(shù)水平上都取得了可觀的成績。尤其是三個九五計劃以來，行業(yè)各企業(yè)抓住機遇，調(diào)整產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，大力推進技術(shù)創(chuàng)新，取得了許多大行業(yè)級以及*的新產(chǎn)品、新技術(shù)成果，為我國的國民經(jīng)濟建設(shè)，科學技術(shù)的發(fā)展，國防高新技術(shù)的提升做出了貢獻。