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2025-12-25

漩渦高壓風機在半導體設備中有哪些用途漩渦高壓風機在半導體設備中用途廣，憑借其無油運行、結構緊湊、壓力流量可調等特性，通過負壓吸附、氣體輸送與循環等功能，有效處理光刻、刻蝕等工序產生的廢氣，確保工藝穩定性與環保合規性，具體用途如下：一、廢氣處理負壓吸附：在光刻、刻蝕等工序中，會產生有機溶劑廢氣、酸性/堿性廢氣等有害氣體。漩渦高壓風機通過進氣口形成負壓，快速吸附這些廢氣，防止其擴散污染環境或影響工藝穩定性。例如，光刻膠曝光、顯影過程中釋放的有機溶劑廢氣（如苯、甲苯、二甲苯）具有揮...

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